CVD 장비
TCVD-50B
Thermal Chemical Vapor Deposition
열화학증착(TCVD)기술의 주요 사항은 기판 위에 얇은 필름이 합성되는 고압의 reactor로
1,000ºC 가량의 고온에서 가스들을 유입시키는 것입니다.
Size
1500(W) X 893(H) X 590(D)
특징
Size (mm) : 1500(W) x 893(H) x 590(D)
경제적 & 공간 절약형 모델.
Water-cooled end chambers doors.
Water-cooled end chambers and doors.
온도 조절: ~1,100℃
고온에 보호되도록 설계된 디자인
필름 두께의 균일성: ≤+-3%
테스트 균일: ≤+-3%
빠른 가열, 냉각을 위한 모터 제어 가동 히터
*가격은 상담 후 결정됩니다.
(표준 부분에서 다른 사용자 정의는 전체 가격에 영향을 미칠 것입니다.)
경제적 & 공간 절약형 모델.
Water-cooled end chambers doors.
Water-cooled end chambers and doors.
온도 조절: ~1,100℃
고온에 보호되도록 설계된 디자인
필름 두께의 균일성: ≤+-3%
테스트 균일: ≤+-3%
빠른 가열, 냉각을 위한 모터 제어 가동 히터
*가격은 상담 후 결정됩니다.
(표준 부분에서 다른 사용자 정의는 전체 가격에 영향을 미칠 것입니다.)
장점
기술사양(표준)
TCVD Semi-auto operation system
End chambers(stainless steel) -water cooled system
Gas control unit ( Mass flow controller - 3channel standard +1 spare
340liter/min oil rotary pump
Pneumatic on/off valve with down stream auto pressure control throttle valve with controller
Programmable temperature controller
High temperature furnace(Max1200℃)
Rapid cooling system by furnace moving
Atmospheric and vacuum processing
Anti-contamination system by inner tube
Vacuum gauge unit(Capacitance/Convectron)
1 year warranty
On-site install and training
Safety unit ( Relief valve )
End chambers(stainless steel) -water cooled system
Gas control unit ( Mass flow controller - 3channel standard +1 spare
340liter/min oil rotary pump
Pneumatic on/off valve with down stream auto pressure control throttle valve with controller
Programmable temperature controller
High temperature furnace(Max1200℃)
Rapid cooling system by furnace moving
Atmospheric and vacuum processing
Anti-contamination system by inner tube
Vacuum gauge unit(Capacitance/Convectron)
1 year warranty
On-site install and training
Safety unit ( Relief valve )
기술사양(추가)
Max temp 1500℃ furnace by SIC source
Rapid thermal processing furnace by IR lamp source
MF power induction heating process max temp 1600℃
MFC(Mass flow controller) addition
Dry vacuum pump ( Scroll / booster / industry)
Auto pressure control throttle valve with controller
RF plasma ( ICP type )
Tungsten filament gas source cracking
Additional furnace for source evaporation
Fume hood installation
Source delivery system ( Bubbler / Gas / Solid )
Thermal CVD semi-auto operation system
System utility ( Chiller / scrubber / gas cabinet )
Rapid thermal processing furnace by IR lamp source
MF power induction heating process max temp 1600℃
MFC(Mass flow controller) addition
Dry vacuum pump ( Scroll / booster / industry)
Auto pressure control throttle valve with controller
RF plasma ( ICP type )
Tungsten filament gas source cracking
Additional furnace for source evaporation
Fume hood installation
Source delivery system ( Bubbler / Gas / Solid )
Thermal CVD semi-auto operation system
System utility ( Chiller / scrubber / gas cabinet )
소모품
K-type thermocouple (Option : R-type)
Furnace heating element (Furnace repair)
Vacuum sensor
Oil in rotary oil pump
O-ring
Quartz tube
Furnace heating element (Furnace repair)
Vacuum sensor
Oil in rotary oil pump
O-ring
Quartz tube
시설 요구 사항
전력 |
220VAC 1ph 25A (30A for +1 furnace) |
냉각수 in/out |
8 mm one touch fitting |
냉각수 공급 |
Air temp 5~7liter/min |
안전 배기 size |
6 mm one touch tube |
가스 input 압력 |
40psi |
가스 port |
4ch standard (Option 2ch 증설) |
가스 port size |
1/4"lok fitting |
배기 pump |
NW25 |
Rotary pump 용량 |
340liter/min |
Vent |
Manual handle vent |
구매 고객 리스트
| Boston University | UCLA |
| Massachusetts Institute of Technology | Universidade Mackenzie |
| Washington University | 한국기술교육대 |
| 광운대 | 국방과학연구소 |
설계도
품질보증
그래핀 스퀘어에서는 장비를 구매하신 고객분들께 전체 부속품 (단 quartz 유리 및 고무 오링 제외)에 대한 1년 무상 워런티 서비스를 제공합니다.
기간 내에 사용하시는 장비에서 부품 이상 또는 시스템 오류 발견시 바로 연락 주시면 즉각 24시 이내에 수리기사를 파견하여 드립니다.
기간 내에 사용하시는 장비에서 부품 이상 또는 시스템 오류 발견시 바로 연락 주시면 즉각 24시 이내에 수리기사를 파견하여 드립니다.
배송 기간
제작 완료 및 검수 공정을 통과한 모든 장비는 고객님께서 지정해주신 장소로 당일배송 드립니다.
장비 구매 과정
01
견적 요청 (info@graphenesq.com)
견적 요청 및 견적서 제공
02
구매의사 확인
고객의 구매의사 확인 (고객으로부터 Purchase order 전달)
03
Invoice / Payment
Invoice 및 Payment 자료 제공
04
제작 / Training Program 제공
1차 입금 완료 시 기계 제작 돌입 및 Training Program 제공
05
장비 동작 Test / 제품포장, 발송
제작 완료 후 최종 테스트 통과 시 제품 포장 및 발송 진행
06
도착 완료
최대 4일 이내 고객 사이트에 도착 완료
문의
샘플 및 장비 관련 문의는
info@graphenesq.com
으로 부탁드립니다.