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E-beam Evaporator
협의 후 가격 결정 카트에 담기 견적 문의
특징
  • 협소한 공간에도 설치가능
  • High vacuum system(TMP+rotary pump) Option : Cryo pump
  • Thickness monitor with shutter
  • Easy operation
  • 다양한 형태의 Sample stage(Rotation/Heating/Cooling/Bias/Linear up down
  • E-gun(6kw) ? sweep / 1~6source / Additional Thermal evap source
  • High speed deposition
  • Simple structure
360VR

이미지를 좌우로 회전하며 보실 수 있습니다.

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    • 사양 (표준)
        Chamber unit
      • Material : Stainness304 / Aluminum
      • Chamber size : 450x450x600
      • Front Open Door with Window(shutter)
      • ¼”VCR vent port
      • Pumping port/gauge/spare port
        Pumping unit(Gauge)
      • Osaka turbo pump 1100l/s ISO200
      • inlet flange
      • 600l/m Rotary pump
      • Ion gauge/convection gauge
      • ATM sensor Option : Load-lock unit/Cryo pump
        Substrate unit
      • Material : Inconel600(High temp)
      • Water cooling stage : OFHC
      • Max Sample size : 6inch
      • Option : Up/down / Heating Max temp 400C/Rotation by motor/Bias for Cleaning
        Control unit
      • System Manual operation
      • Option : Semi-auto Operation system · 15inch Touch panel control · System reciepe · Interlock(Water/Pneumatic air) · Data loading
        E-beam evaporator unit
      • E-beam Power supply 6kW with Sweep controller / Remote control unit
      • E-Gun Boat(1~6 multi pocket capacity : 4~7cc)
      • W, Mo source evaporation boat install
      • Max current 300A( Electrical rod - cooling)
      • Pneumatic shutter for source
        소모품
      • W-boat
      • thickness sensor
      • Vacuum sensor
      • Oil in Rotary Oil Pump
      • O-ring
      • Window
      • Heating module
      • Crucible
    • 시설 요구 사항
      전력 220VAC 3ph 50A
      공기압 0.5~0.6Mpa
      공기압 input size 6 mm one touch fitting
      냉각수 in/out 1/2" lok fitting (ø16)
      냉각수 공급 Air temp 10liter/min
      냉각수 압력 0.1~0.2Mpa
      배기 pump NW40
      Rotary pump 용량 550liter/min
      Dry pump 배기 Power thermal 2channel
      Dry pump 용량 E-beam 4cc 4channel
    • 설계도

    • 품질 보증

      그래핀 스퀘어에서는 장비를 구매하신 고객분들께 전체 부속품 (단 quartz 유리 및 고무 오링 제외)에 대한 1년 무상 워런티 서비스를 제공합니다. 기간 내에 사용하시는 장비에서 부품 이상 또는 시스템 오류 발견시 바로 연락 주시면 즉각 24시 이내에 수리기사를 파견하여 드립니다.

    • 배송 기간

      제작 완료 및 검수 공정을 통과한 모든 장비는 고객님께서 지정해주신 장소로 당일배송 드립니다.

    • 장비 구매 과정
      • 1
        견적 요청

        1. 견적 요청 및 견적서 제공

      • 2
        구매의사 확인

        고객의 구매의사 확인 (고객으로 부터 Purchase order 전달)

      • 3
        Invoice / Payment

        Invoice 및 Payment 자료 제공

      • 4
        제작 / Training Program 제공

        1차 입금 완료시 기계 제작 돌입 및 training program 제공

      • 5
        장비 동작Test / 제품포장, 발송

        제작 완료후 최종 테스트 통과시 제품 포장 및 발송 진행

      • 6
        도착 완료

        최대 4일 이내 고객 사이트에 도착 완료

    • FAQ

      추후 오픈 예정입니다.

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